120k máquina de recubrimiento por rociado fotoresistente con suministro externo de líquido

Máquina de recubrimiento por pulverización de fotorresistencia ultrasónica de 120k con suministro de líquido externo

La pulverización por atomización de fotorresistencia es un proceso central en la fabricación de semiconductores para el recubrimiento preciso de fotorresistencia. El principio clave es transformar la fotorresistencia en diminutas gotas a través de la tecnología de atomización, que luego se depositan uniformemente en la superficie de la oblea, cumpliendo los requisitos de recubrimiento de obleas de gran tamaño y alta precisión.

Principio Central: La fotorresistencia líquida se atomiza en gotas uniformes a escala nanométrica a micrométrica utilizando flujo de gas a alta presión o vibración ultrasónica.

Las gotas atomizadas son transportadas por un flujo de gas direccional, formando un recubrimiento delgado y uniforme en la superficie de la oblea, con el grosor controlado con precisión a nivel nanométrico.

Ventajas Clave: Alta uniformidad de recubrimiento, evitando los defectos de borde grueso y centro delgado del recubrimiento por centrifugación, cumpliendo los requisitos de procesos avanzados.

Alta utilización de fotorresistencia, reduciendo el desperdicio de material en más del 50% en comparación con el recubrimiento por centrifugación, reduciendo los costos de producción.

Adecuado para obleas de gran tamaño (por ejemplo, 12 pulgadas y superiores) y topografía de superficie compleja, lo que resulta en una mayor consistencia del recubrimiento.

¿Cuál es el parámetro de la boquilla de pulverización?

¿Tiene imágenes de la boquilla de pulverización?

La nanoatomización ultrasónica utiliza energía ultrasónica para convertir líquidos en partículas de tamaño nano. Tiene aplicaciones generalizadas en campos médicos e industriales. A continuación, se presenta una descripción detallada:

Principio
En el campo médico: Un generador ultrasónico típicamente genera corriente de alta frecuencia, que se convierte en ondas ultrasónicas por un transductor ultrasónico. Esta corriente luego actúa sobre el líquido a través de una membrana ultrasónica en la parte inferior del atomizador, rompiendo el medicamento en partículas finas. Finalmente, el flujo de aire generado por el dispositivo de suministro de aire entrega la niebla de medicación al paciente para su inhalación.
En el campo industrial: Una boquilla ultrasónica convierte ondas sonoras de alta frecuencia en energía mecánica, que se transfiere al líquido, generando ondas estacionarias. Luego, el líquido se dirige a través de la boquilla a la superficie de atomización. Al salir de la superficie de atomización, el líquido se rompe en una niebla uniforme de gotas de tamaño micrónico, logrando así la atomización.

Características
Partículas finas y uniformes: Las partículas atomizadas generadas típicamente tienen un diámetro de 1 a 5 micrones, permanecen suspendidas en el aire durante períodos prolongados y se distribuyen de manera relativamente uniforme. En el campo médico, esto ayuda a garantizar una mejor entrega al tracto respiratorio inferior y a los pulmones. En el campo industrial, puede lograr recubrimientos de película delgada submicrónica y a nanoescala altamente uniformes. Alta Eficiencia y Ahorro de Energía: El líquido se transfiere a la boquilla de pulverización por gravedad o por una bomba de baja presión, logrando una atomización continua o intermitente. Este proceso no obstruye, no desgasta, no hace ruido, no requiere presión y no tiene partes móviles. No se requiere agua de enfriamiento para la atomización, lo que resulta en un bajo consumo de energía.

Material y Respetuoso con el Medio Ambiente: La pulverización a baja velocidad y sin presión es fácil de controlar, y las gotas aterrizan en el sustrato en lugar de rebotar, lo que reduce significativamente el exceso de pulverización, ahorra material considerable y reduce las emisiones ambientales.

Alta Controlabilidad: El flujo de atomización controlable con precisión, la pulverización continua de bajo flujo y los patrones de pulverización fáciles de controlar y dar forma lo hacen adecuado para aplicaciones industriales. Mediante la combinación, el volumen de atomización se puede adaptar para satisfacer cualquier requisito del usuario. Aplicaciones
Médica: Por ejemplo, los dispositivos de atomización ultrasónica oftálmica utilizan esta tecnología para descomponer medicamentos en partículas atomizadas de tamaño nano para el tratamiento de ojo seco y blefaritis. Esta tecnología promueve la absorción, alivia los síntomas del ojo seco y mejora la microcirculación periocular. En medicina respiratoria, la tecnología de atomización ultrasónica asistida por nanoburbujas puede atomizar directamente medicamentos y nanoburbujas en aerosoles finos, aumentando la deposición en los pulmones y utilizándose para tratar afecciones como quistes pulmonares.

Industrial: Las aplicaciones incluyen celdas de combustible, celdas fotovoltaicas de película delgada, recubrimientos solares de película delgada, celdas solares de perovskita, recubrimientos de grafeno, recubrimientos de vidrio y circuitos electrónicos, lo que permite recubrimientos de película delgada submicrónica y a nanoescala altamente uniformes.

Paisajismo: En jardines paisajísticos y espacios comerciales, los módulos de atomización ultrasónica pueden crear un efecto de niebla envolvente, aumentando la humedad del aire y mejorando el microclima interior. También se pueden combinar con efectos de iluminación para crear un espectáculo de niebla espectacular y cambiante de color.

¿Cómo se comparan las boquillas de pulverización ultrasónica con las boquillas de pulverización tradicionales en términos de eficiencia?
Las boquillas de pulverización ultrasónica superan a las boquillas de pulverización tradicionales en eficiencia general, especialmente para escenarios de recubrimiento de alta precisión como la aplicación de fotorresistencia.

Ventajas de Eficiencia Clave de las Boquillas de Pulverización Ultrasónica

Mayor utilización de material: Atomizan la fotorresistencia en micro/nanogotas de tamaño uniforme, reduciendo el desperdicio en un 30-60% en comparación con las boquillas tradicionales (por ejemplo, las de presión) que a menudo producen gotas irregulares o exceso de pulverización.
Uniformidad de recubrimiento superior: La vibración ultrasónica permite una distribución de gotas consistente, minimizando las variaciones de espesor (típicamente dentro de ±5% frente a ±10-15% para boquillas tradicionales), lo que reduce el retrabajo y mejora el rendimiento del proceso.
Menor consumo de energía: La atomización ultrasónica se basa en vibraciones de alta frecuencia en lugar de alta presión o flujo de aire, reduciendo el consumo de energía en un 20-40% mientras se mantiene el rendimiento de pulverización.

Limitaciones en comparación con las boquillas tradicionales

Menor aplicabilidad para materiales de alta viscosidad: Las boquillas de presión tradicionales manejan fluidos más espesos de manera más efectiva, mientras que los tipos ultrasónicos funcionan mejor con fotorresistencias de baja a media viscosidad.
Mayor costo inicial: Las boquillas ultrasónicas tienen una inversión inicial más alta, aunque esto se compensa con ahorros a largo plazo de material y energía en la producción en masa.

Las boquillas de pulverización ultrasónica ofrecen varias ventajas sobre las boquillas de pulverización tradicionales en términos de eficiencia. Aquí hay algunos puntos clave de comparación:

1. Eficiencia de atomización: Las boquillas de pulverización ultrasónica son muy eficientes en la atomización de líquidos en gotas finas.

2. Exceso de pulverización reducido: Las boquillas de pulverización tradicionales a menudo generan una cantidad significativa de exceso de pulverización, que se refiere a la pérdida de líquido que no llega al objetivo previsto.

3. Calidad del recubrimiento: Las boquillas de pulverización ultrasónica son particularmente ventajosas en aplicaciones donde se requiere un recubrimiento de alta calidad.

4. Ahorro de material: Debido a su atomización eficiente y al exceso de pulverización reducido, las boquillas de pulverización ultrasónica pueden ayudar a ahorrar en costos de material.

5. Versatilidad: Las boquillas de pulverización ultrasónica pueden manejar una amplia gama de líquidos, incluidas soluciones a base de agua, solventes, suspensiones y fluidos viscosos.

Vale la pena señalar que las boquillas de pulverización tradicionales tienen sus propias ventajas en ciertos escenarios, como aplicaciones de alto flujo o situaciones en las que se desean gotas más grandes. La elección entre boquillas de pulverización ultrasónica y boquillas de pulverización tradicionales depende de los requisitos específicos de la aplicación y del resultado deseado en términos de eficiencia, calidad del recubrimiento y ahorro de material.

¿Puede proporcionar ejemplos de industrias o aplicaciones donde se utilizan comúnmente las boquillas de pulverización ultrasónica?

 

Sistema de pulverización ultrasónica
El equipo de pulverización ultrasónica tiene autolimpieza, lo que puede evitar la contaminación de la pared interior del tubo de recolección de sangre durante el proceso de pulverización, y también puede evitar la contaminación de su propia boquilla, y se puede rociar y usar en ciclos. El sistema de pulverización ultrasónica puede programar el número, la distancia, el grosor y otros parámetros de pulverización, para garantizar la precisión del efecto de pulverización. El equipo de pulverización ultrasónica puede ahorrar materias primas, y la tasa de utilización de materias primas es de hasta el 85%. Los atomizadores ultrasónicos industriales se pueden integrar fácilmente en las líneas de producción existentes para una pulverización eficiente con una salida de calidad constante.

Como tecnología probada industrialmente, la pulverización ultrasónica se ha aplicado con éxito al recubrimiento de películas delgadas de alto rendimiento en la fabricación de electrónica de precisión como semiconductores, dispositivos de precisión, aplicaciones de nanotecnología, celdas de combustible y celdas solares. Durante la pulverización ultrasónica, el tamaño y la distribución de las gotas se pueden controlar con precisión, lo que resulta en partículas con una alta área superficial.

¿Puede proporcionar el video de trabajo de la boquilla de pulverización?